金屬切削或者是砂輪磨削會在金屬的表面形成熱，由于熱量和金屬的變形會破壞工件表層結(jié)構(gòu)，形成工件表面變質(zhì)層。需要去除加工變質(zhì)層并得到準確的工件精度，需要采取超精密加工。主要是以細粒度的和低硬度的油石，最終獲得很小的粗糙度以及高的精度，并且生產(chǎn)率比較高。

超精密加工的切削過程和鏡面的磨削加工方法是有一定區(qū)別的，工件連續(xù)進行切削，直到工件獲得一定的表面粗糙度。過分的延長加工時間對工件的表面質(zhì)量的損壞是沒有意義的。

超精密加工主要是有三種加工狀態(tài)，切削狀態(tài)、半切削狀態(tài)以及界面拋光這三種。

1、切削狀態(tài)。主要是由于接觸面比較小，單位壓力比較大，在工件的表面上會有無數(shù)的切削紋路，沒有光澤的網(wǎng)絡(luò)，可以觀察到脫落的磨粒。

2、半切削狀態(tài)，會隨著工件的表面波峰的切除，工件的表面會變得平坦，切削磨粒增多，主要特征是，工件的表面上的紋路會變淺，出現(xiàn)光澤，磨粒的脫落的痕跡還是能夠看到。

3、鏡面拋光狀態(tài)。會隨著加工的繼續(xù)，切削厚度變薄，直到最終氧化成黑色的氧化鐵，表面會變得很光滑，主要特征表現(xiàn)在，工件表面上看不到磨削的紋路，出現(xiàn)全面光澤，磨粒和切削脫落情況不可見。

對工件加工表面的磨削作用會逐漸的轉(zhuǎn)變成拋光作用，他的加工過程是連續(xù)自動轉(zhuǎn)換的。工件超精密加工主要是獲得比較小的粗糙度。